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Alicat MCD雙閥雙向氣體質量流量計控制器可以控制質量流量,體積流量,或氣體壓力。雙向同時測量流量,壓力,溫度。

使用Alicat MCVS防腐蝕真空氣體質量流量控制器配備氣動截止閥，可用于控制真空應用中 128 多種氣體（包括 30 多種腐蝕物）的質量流量或壓力。

Alicat MCES防腐蝕氣體質量流量控制器配備 1/4 英寸 VCR 配件，并與 SEMI 標準 MFC 端到端匹配，可輕松直接升級到真空沉積裝置，控制 98 多種氣體的質量流量或壓力。可以控制腐蝕性氣體。

Alicat MCDS防腐蝕雙向氣體質量流量控制器可以同時控制質量流量、體積流量或氣體壓力方向，同時測量多達 130 種氣體的流量、氣體壓力和氣體溫度，包括 30 多種腐蝕物。

Alicat MCDW低壓損雙向氣體質量流量控制器可以在可用系統(tǒng)壓力非常小時（壓降低至 0.07 PSID）時控制兩個方向的質量流量、體積流量或氣體壓力。

Alicat艾里卡特科里奧利質量流量泵控制器很容易與現(xiàn)有的液體或氣體泵過程集成，無需單獨的PID控制器即可實現(xiàn)自動化。該控制器還可以配置為命令閥門與加壓氣體一起使用。 該精密控制器讀取質量流量在40毫秒，并發(fā)送數(shù)字信號，以控制泵在140毫秒。控制器兼容高達200 cP的氣體和液體，流速高達300 kg/h。

使用Alicat艾里卡特CODA KC系列質量流量控制器在非常困難的操作條件下進行高精度控制。 CODA 控制器與各種液體和氣體（包括許多腐蝕性物質）兼容，并在高達 4000 PSIA 的壓力和低至 40 g/h 的流速下保持高精度控制。

Alicat艾里卡特MCE系列真空質量流量控制器配備 1/4 英寸 VCR 配件，并與 SEMI 標準 MFC 端到端匹配，可輕松直接升級到真空沉積裝置。控制 98 多種氣體的質量流量或壓力。